|
一、
负偏压电源
1.
直流负偏压电源
电源特性：基于IGBT组件构成稳流电路，过流保护及匹配性能好；
特别适用于PVD的清洗、轰击、加热、刻蚀和沉积工艺。
电源参数可按具体要求制作，参考型号如下：
型号
|
空载
电压
|
工作电压范围
(V)
|
最大输出电流
|
最大输出功率
|
机箱尺寸
深×宽×高
|
DCNV1kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
3/2/1
A
|
1 kW
|
400×440×200
|
DCNV2kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
6/4/2
A
|
2 kW
|
400×440×200
|
DCNV5kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
15/10/5
A
|
5 kW
|
450×440×200
|
DCNV10kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
30/20/
10A
|
10 kW
|
500×440×200
|
DCNV20kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
60/40/
20A
|
20 kW
|
550×440×200
|
DCNV50kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
150/100/
50A
|
50 kW
|
600×440×200
|
2.
单极脉冲偏压电源
电源特性：基于IGBT组件构成占空比可调（5%~95%）的40 kHz单极脉冲稳流电路，有效抑制打火及改善镀膜质量；
特别适用于高品质镀膜系统。
电源参数可按具体要求制作，参考型号如下：
型号
|
空载
电压
|
工作电压范围
(V)
|
最大输出电流
|
最大输出功率
|
机箱尺寸
深×宽×高
|
DCNV1kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
3/2/1
A
|
1 kW
|
400×440×200
|
DCNV2kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
6/4/2
A
|
2 kW
|
400×440×200
|
DCNV5kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
15/10/5
A
|
5 kW
|
450×440×200
|
DCNV10kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
30/20/
10A
|
10 kW
|
500×440×200
|
DCNV20kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
60/40/
20A
|
20 kW
|
550×440×200
|
DCNV50kW
|
1000V
|
50~300/150~600/250~1000
|
150/100/
50A
|
50 kW
|
600×440×200
|
二、
磁控溅射电源
1.
直流磁控溅射电源
电源特性：基于IGBT组件构成稳流电路，过流保护及匹配性能好；
特别适用于PVD金属靶材溅射镀膜。
电源参数可按具体要求制作，参考型号如下：
型号
|
空载电压
|
工作电压范围
|
最大输出电流
|
最大输出功率
|
机箱尺寸
深×宽×高
|
备注
|
DCMS
1A
|
1200V
|
200~600V
|
1A
|
0.6 kW
|
400×440×200
|
|
DCMS
2A
|
1200V
|
200~600V
|
2A
|
1.2 kW
|
400×440×200
|
|
DCMS
5A
|
1200V
|
200~600V
|
5A
|
3.0 kW
|
450×440×200
|
|
DCMS
10A
|
1200V
|
200~600V
|
10A
|
6.0 kW
|
500×440×200
|
|
DCMS
20A
|
1200V
|
200~600V
|
20A
|
12.0 kW
|
550×440×200
|
|
DCMS
50A
|
1200V
|
200~600V
|
50A
|
30.0 kW
|
600×440×200
|
|
2.
中频交流磁控溅射电源
电源特性：基于IGBT组件构成高频脉冲稳流电路，有效抑制打火及靶中毒；
特别适用于PVD金属和石墨等导电靶材溅射镀膜。
电源参数可按具体要求制作，参考型号如下：
型号
|
空载电压
|
工作电压范围
|
最大输出电流
|
最大输出功率
|
工作频率
|
机箱尺寸
深×宽×高
|
MFMS
1A
|
1000V
|
200~600V
|
1A
|
0.6 kW
|
40 kHz
|
400×440×200
|
MFMS
2A
|
1000V
|
200~600V
|
2A
|
1.2 kW
|
40 kHz
|
400×440×200
|
MFMS
5A
|
1000V
|
200~600V
|
5A
|
3.0 kW
|
40 kHz
|
450×440×200
|
MFMS
10A
|
1000V
|
200~600V
|
10A
|
6.0 kW
|
40 kHz
|
500×440×200
|
MFMS
20A
|
1000V
|
200~600V
|
20A
|
12.0 kW
|
40 kHz
|
550×440×200
|
MFMS
50A
|
1000V
|
200~600V
|
50A
|
30.0 kW
|
40 kHz
|
600×440×200
|
3.
单极脉冲磁控溅射电源
电源特性：基于IGBT组件构成占空比可调的单极脉冲稳流电路，有效抑制打火及靶中毒；
特别适用于P VD金属和石墨等导电靶材溅射镀膜。
电源参数可按具体要求制作，参考型号如下：
型号
|
空载电压
|
工作电压范围
|
最大输出电流
|
最大输出功率
|
工作频率
|
机箱尺寸
深×宽×高
|
MPMS
1A
|
1000V
|
200~600V
|
1A
|
0.6 kW
|
40 kHz
|
400×440×200
|
MPMS
2A
|
1000V
|
200~600V
|
2A
|
1.2 kW
|
40 kHz
|
400×440×200
|
MPMS
5A
|
1000V
|
200~600V
|
5A
|
3.0 kW
|
40 kHz
|
450×440×200
|
MPMS
10A
|
1000V
|
200~600V
|
10A
|
6.0 kW
|
40 kHz
|
500×440×200
|
MPMS
20A
|
1000V
|
200~600V
|
20A
|
12.0 kW
|
40 kHz
|
550×440×200
|
MPMS
50A
|
1000V
|
200~600V
|
50A
|
30.0 kW
|
40 kHz
|
600×440×200
|
三、
弧蒸发电源
电源特性：基于IGBT组件构成稳流电路，体积小，效率高，控制方便，稳弧能力强；
特别适用于蒸发各种金属和石墨靶材。
电源参数可按具体要求制作，参考型号如下：
型号
|
最大功率
（kW）
|
工作电流
（A）
|
空载电压
（V）
|
工作电压
（V）
|
机箱尺寸
深×宽×高
|
ARC
150A
|
5
|
30~150
|
70
|
16~30
|
450×440×200
|
ARC
200A
|
6
|
50~200
|
70
|
20~30
|
450×440×200
|
四、
低压直流稳流电源
电源特性：基于IGBT组件构成稳流电路，体积小，效率高，控制方便，稳定度高；
特别适用于微波ECR等离子体发生器电磁线圈供电。
电源参数可按具体要求制作，参考型号如下：
型号
|
最大输出功率
（kW）
|
工作电流
（A）
|
最大输出电压
（V）
|
机箱尺寸
深×宽×高
|
COIL2000W
|
2
|
50~200
|
10
|
400×440×200
|
COIL3000W
|
3
|
50~200
|
15
|
400×440×200
|
|
|
|
|
|
|
五、
中频高压电源
电源特性：基于IGBT组件构成中频高压稳流电路，有效控制高压放电击穿现象；
电源参数可按具体要求制作，参考型号如下：
型号
|
空载电压
|
工作
电压
|
最大输
出电流
|
最大输入功率
|
工作频率
|
机箱尺寸
深×宽×高
|
MFHV
1000A
|
15 kV
|
~4 kV
|
200 mA
|
1.0 kW
|
20-40 kHz
|
400×440×200
|
MFHV1000D
|
20 kV
|
~6 kV
|
200 mA
|
1.0 kW
|
20-40 kHz
|
380×250×200
|
|
