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| 微波表面波等离子炬 |
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左图部件说明：
1-短路活塞；
2-矩形波导；
3-通道压缩块；
4-旋转进气环；
5-点火器；
6-圆波导；
7-介质管；
8-出气口；
9-等离子体；
10-环形器；
11-激励腔；
12微波管。 |
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微波表面波等离子炬 |
技术特点：
- 由于放电区局限在耐高温的介质管内，因而等离子体纯净度很高，可以用来制备高纯度材料，例如用来生产太阳能级，乃至半导体级晶体硅；
- 由于放电区局限在耐高温的介质管内，产生的等离子体能量密度很高，因而既可以用来高效离解键能很高的化合物，也可以用来合成键能很高的化合物；
- 高能量密度的等离子体可以用来净化任何有毒有害物质；
- 等离子体炬在常压下运行，不需要真空设备，所采用的微波系统都是已工程化的微波设备，结构简单，调节方便，运行可靠，转换效率高，价格便宜。
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