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| 环缝微波等离子试验装置 |
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环缝微波放电的等离子发生装置原理图 |
如上图所示的环缝微波等离子试验装置是微波通过环形波导内侧的环缝进入石英真空室激发气体放电产生浓密的等离子体，具有如下优点：
* 运行气压范围宽：10-2 mbar～ 100 mbar的任意气体；
* 空间均匀性好：即使在比较高的气压下等离子体也不会聚集；
* 无极放电：不存在来自于电极材料对等离子体的污染；
* 非热等离子体，电子温度比离子和气体分子的温度高得多；
* 可长时间连续运行。
基本参数
* 等离子形状：椭球；
* 等离子直径约130 mm；
* 下游等离子密度：1010-1011/cm-3
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