冷弧等离子射流源系列产品
常用的等离子表面处理设备是工作在低气压范围,即用的是低气压等离子技术。由于低气压等离子技术需要使用真空设备,不但使实际操作不方便,而且使得应用成本也相应增加。近年来,由于常压等离子体技术取得了长足的发展,使得常压等离子体在工业中广泛应用成为可能。其中高频(数十kHz)冷弧空气等离子射流,由于高频(以下含脉冲)电源相对射频(RF)和微波电源更便宜,用很便宜的空气做气源,因此应用可以更广泛。
冷弧空气等离子体可以应用来进行表面处理,包括清洗、喷涂、刻蚀、消毒和灭菌等;在汽车、家电、印刷、纺织、环保、电子、机械、航空和航天等工业领域中都具有广泛的应用。
如果使用氩气或氮气等做载气,添加反应气体,还可在常压下沉积薄膜。
1. 冷弧空气等离子射流源系列产品
型 号 |
高频电源功率
(W) |
空气流量
(L/min) |
射流类型 |
配 置 |
AP Jet-1000P |
1000 |
~60 |
铅笔型(直枪) |
无手柄 |
有手柄 |
AP Jet-1000R |
1000 |
~60 |
圆环型(旋转枪) |
无手柄 |
有手柄 |
2. 冷弧空气等离子射流表面处理装置系列产品
型 号 |
高频电源功率(W) |
空气流量
(L/min) |
射流类型 |
配 置 |
APJ Treat-
1000P |
1000 |
~60 |
铅笔型
(直枪) |
射流源固定于
标准1.4m机柜中 |
射流源固定于1.6m可排废气
机柜中的三维数控机架上* |
APJ Treat-
1000R |
1000 |
~60 |
圆环型
(旋转枪) |
射流源固定于
标准1.4m机柜中 |
射流源固定于1.6m可排废气
机柜中的三维数控机架上* |
*三维数控机架技术参数:扫描面积:250х180mm2,扫描速度:最大300mm/s。
3. 冷弧等离子射流镀膜装置系列产品
型 号 |
高频电源功率(W) |
流量计类型
(L/min) |
射流类型 |
配 置 |
AP PECVD-1000P |
1000 |
浮子流量计×3 |
铅笔型
(直枪) |
带喷口进气喷嘴 |
AP PECVD-1000P |
1000 |
浮子流量计×3 |
铅笔型
(直枪) |
带喷口进气喷嘴,
射流源固定于标准1.4m机柜中 |
AP PECVD-1000P |
1000 |
浮子流量计×3
数字流量计×2
载气:50
反应气:1 |
铅笔型
(直枪) |
带喷口进气喷嘴,
射流源固定于标准1.4m机柜中 |
带喷口进气喷嘴,
射流源固定于1.6m可排废气机柜中的三维数控机架上* |
AP
PECVD-1000R |
1000 |
浮子流量计×3
数字流量计×2
载气:50
反应气:1 |
圆环型
(旋转枪) |
射流源固定于
标准1.4m机柜中 |
射流源固定于1.6m可排废气
机柜中的三维数控机架上* |
*三维数控机架技术参数:扫描面积:250х180mm2,扫描速度:最大300mm/s。
三维数控机架技术参数还可根据客户需要选配,价格另议。 |